アクティブ防振台-アクティブ防振台-AVI 600 WORKSTATION

能動防振台-能動式防振台-AVI 600 WORKSTATIONは小型能動防振台であり、既存の低周波防振機能を必要とする機器にアップグレードし統合するのに理想的な選択である。AVI-600 WORKSTATION防振台により、より大きな機器積載量（最大9000ポンド）をサポートするために、一定のサイズ範囲内に追加のモジュールを増設することができます。AVI-600 WORKSTATION精密防振ワークベンチもナノテクノロジーをサポートする最適なソリューションです。

製品特徴：

• アクティブ防振周波数：1 Hz～200 Hz
• 受動防振周波数>200 Hz
• 5〜20ミリ秒の応答時間
• 取り付けが簡単で使いやすい
• 故障なく長年使い続けることができる
• コンパクトでモジュール化された多機能設計

アプリケーション：

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• リソグラフィ
• UHV-SPM
• トンネル顕微鏡
• 大型の振動に敏感な機器

アクティブ防振台-アクティブ防振台-AVI 600 WORKSTATION製品の利点：

• システムは入力振動を積極的に検出し、動的に除去する
• 六つの角度自由防振
• 内部フィードバック回路はすべての機械共振を抑制する
• 優れた低域防振能力を提供する
• 低周波共振なし空気要件なし

技術パラメータ：

防振範囲：能動：1-200 Hz、パッシブ:>200Hz

伝送率：10 Hzを超える伝送<-35 dB

モジュールサイズ：W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

モジュール重量：60 KG / 132 Lbs

静的柔軟性（モジュールごと）

垂直方向：約12μm/N

水平方向：約6μm/N

システムノイズ：50 nG/√Hz未満

消費電力：27 W（標準構成）

入力電圧：90-125 VAC/200-250 VAC、50 – 60 Hz

コントローラサイズ：48 x 13 x 25 cm/19 x 5.1 x 9.8」

性能監視：オシロスコープに表示される多重信号を通じて防振効果のある振動レベルを表す

アクティブ防振台-アクティブ防振台-AVI 600 WORKSTATIONオプションモデル：